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713 搞出光刻機,挺直腰桿子

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  “狼煙起,江山北望……”

  酒店里,喝到爛醉如泥的高媛媛被手機鈴聲吵醒,迷迷糊糊地抬頭找了找,聲音來自床頭柜上的手機,但手機的主人,不見蹤影。

  “阿飛。”

  高媛媛強撐著下床,走路綿軟無力。

  “我在這兒。”

  陸飛打開浴室的大門,坦蕩地沖她笑了下,接過手機,“喂、欣姐。”

  高媛媛洗了把臉,然后脫掉衣服,走進淋浴間沖洗自己,流水聲嘩嘩作響。

  “好,好,10點我就出發。”

  陸飛坐在浴缸里,悠悠道:“欣姐,TVB這邊,就麻煩你陪媛媛處理了。”

  高媛媛聽到這話,精神大振,豎起耳朵。

  “……歐洲那邊,不用擔心,我已經讓布洛森24小時盯著,任何風吹草動都要匯報。”

  陸飛抹了一把臉。

  希臘的國債評級又被惠譽和標準普爾下調,降到了垃圾級,已經到了必須歐盟兜底的地步,終于把債務危機擴散到整個歐元區。

  收割歐洲的時刻,馬上就要到了!

  等兩人聊完掛斷電話,高媛媛才走出玻璃隔斷,幽幽說:“阿飛,我今天就不送你去機場了,唔,有點不舒服。”

  “誰讓你昨天喝了那么多酒。”

  陸飛抓著她的手,拉入浴缸里。

  心疼之余,不得不感慨高媛媛醉得真是時候,而且還不省人事,要不然也不能給自己創造機會,夜里能跟曾麗單獨慶祝封后之喜。

  大滿貫最好的獎勵,自然也是大滿灌。

  ”下次不會了。”

  高媛媛意味深長地白了眼,“曾麗姐她們有沒有跟你說今天坐你的飛機去鵬城。”

  “說了……嗎,我怎么不知道。”

  陸飛一個激靈。

  “那我現在跟你說,你不會介意吧?”

  高媛媛得留下來,跟徐欣完成TVB最后的收購簽約儀式,楊蜜、景恬則繼續自己的好萊塢征程,而曾麗、劉師師她們回內地。

  “怎么會。”

  陸飛笑道:“不過我聽說師師拍完《步步驚心》之后,狀態不對,有沒有這回事?”

  “蜜蜜、恬恬她們跟你說的吧。”

  高媛媛點了下頭,“師師可能陷進角色里還沒有出來,對吳奇龍的感情有點復雜。”

  “這可不符合我們‘四小花旦’的造星計劃。”陸飛一本正經地說。

  “放心吧,虹姐已經警告過吳奇龍團隊。”高媛媛靠在他的懷里,“早餐叫了嗎?沒有的話,吃了再走吧。”

  “當然吃了再走,不過呢,先吃你!”

  陸飛嘿然一笑,“把昨天的夜宵補上。”

  “嗚嗚嗚~”

  跟曾麗她們暫時分別,陸飛坐上車,馬不停蹄地趕到邏輯,孫紅軍早就在門口等候。

  “他們人呢?”

  “陸總,都在中心呢。”

  一行人驅車來到僻靜的三體實驗基地,沿途布滿了安保人員,路的盡頭是一間占地上萬畝的新建廠房,表面看上去,非常不起眼。

  一下車,來到換裝間,陸飛就看到已經穿著防塵服的梁孟松、尹志堯,以及職工。

  蘇姿豐、胡煜華、孟婉舟這些邏輯的上將,即便半步踏入輪值董事會,也沒有資格第一時間參觀,消息還封鎖在最高統帥部一級。

  “陸總。”

  梁孟松、尹志堯等人喊了一聲。

  “走吧。”

  陸飛換好裝備,穿過走廊,墻壁上掛著華夏第一枚原子彈跟氫彈的當天報紙和照片。

  頭頂,懸掛著一條條橫幅,都是激勵士氣的口號語,其中最顯眼的莫過于——

  “搞出光刻機,挺直腰桿子!”

  “陸總,這就是我們自主研發的65nArF干式光刻機,由邏輯、滬市微電子、長春光機、華為等多家單位、上千家供應商聯合攻克,下一步就是預生產,在生產中不斷改進完善,然后逐步實現量產化。”

  孫紅軍興奮至極,“預計一到兩年,就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻機。”

  “還是自己的機器香啊!”

  陸飛透過玻璃,看著工作人員有條不紊地操作,余光里注意到尹志堯等人的情緒很不對勁,“這么難得的好日子,你們怎么看上去不是很高興啊,難道是光刻機還有什么質量上的問題,或者技術上的缺陷?”

  “陸總,設備沒有問題,技術也沒有問題,就是……就是有一個壞消息……”

  尹志堯一臉為難。

  “什么壞消息?”

  陸飛鼓勵道:“沒關系,說出來,不說出來,我們又怎么想辦法解決呢?”

  “陸總,ASML研發出了全球第一臺EUV光刻機,已經送到三星的研究機構預生產。”

  尹志堯無奈地嘆了口氣。

  “你看你,又急。”

  陸飛挑了挑眉,倍感意外,這么湊巧!

  EUV光刻機的出現,相當于光刻機技術和設備正式發展到第五代,遙遙領先于他們。

  第一代光刻機是以436n的gle汞燈光源為主,只適用于5μ以上制程。

  之后出現了365n的ile汞燈光源的第二代光刻機,制程精度來到了350到500n。

  這兩代都只能算是接近式光刻機,到了第三代掃描投影式光刻機,才實現了跨越式的突破,把最小工藝推進至150到250n。

  他們生產的65nArF干式光刻機,算是第四代,也就是步進式投影式光刻機,制程工藝最高可以推進到65n,想要更上一層——

  就得用到浸入技術,也就是讓鏡頭和硅片之間的空間浸泡于液體之中,在此基礎上,就有了四代半的浸入步進式投影式光刻機。

  本來,邏輯跟ASML這些國際一線的光刻機廠商,就只剩ArFi這么個半代差距。

  但EUV光刻機一出現,又把這個差距拉到了至少1.5代,而且這個技術差距,不像制程工藝那么好追,是整個產業鏈的全面落后。

  “不是我急,陸總,一旦EUV預生產成功的話,英特爾、三星、臺積電也許不出三五年,就能得到EUV光刻機的生產線……”

  尹志堯話里無不透著焦慮。

  “尹教授,這臺EUV,ASML、三星、英特爾、蔡司、臺積電它們花了多久才研制出來?”陸飛透過面罩的玻璃,直直看去。

  “從林本堅提出浸潤式微影技術的理論,到現在,大概十三、十四年。”

  梁孟松站出來回答。

  “對嘛,這不就結了。”

  陸飛拍了拍尹志堯的肩膀,“EUV集歐美日韓這么多全球最頂尖的半導體公司和人才,也要花13年的時間,何況是我們呢!”

  “陸總說的沒毛病!”

  孫紅軍機敏地當捧哏。

  “咱們研究起步晚,技術經驗積累少,人才還不夠不精,再加上特么的技術封鎖,能在這么短的時間,攻克65nArF干式光刻機,就已經很不正常了,再快就該拍科幻片了。”

  陸飛笑道:“落后不可怕,可怕的是不追趕,你看我們現在,已經步入正軌了。”

  “可不是嘛,快趕上小霓虹了!”

  孫紅軍嘿然一笑。

  就像霓虹在新能源上梭哈錯了氫能,在光刻機路線上,不去梭哈濕刻法,而是全力押注干刻法,卻失敗了,白白耗費人力財力時間。

  今后,邏輯的光刻機就可以跟尼康、佳能競爭低端光刻機市場,先干翻了小霓虹!

  “所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先別急,ArFi會有的,EUV也會有的!”

  陸飛環顧四周,激勵士氣。

  “陸總!”

  尹志堯鄭重地點了下頭,他作為中微半導體的領軍人,非常清楚邏輯是兩條腿走路,既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機,又跟長春光機為主的科研所研究EUV光刻機。

  而且滿世界找幫手,比如徠卡。

  “老孫,這次的獎勵方案做出來了嘛?”

  陸飛側目望向孫紅軍。

  “已經擬出個初步方案,就等您來定。”

  孫紅軍應了一聲。

  “嗯,但凡這次參與光刻機項目的,哪怕是擰了個螺絲的,也要多發獎金!”

  陸飛雙手叉腰,“65n有了,還怕沒有ArFi?沒有EUV?接下來我們就向32n、28n,甚至28n以下的發起沖擊,不管是10年、20年,還是多長時間,也要搞出來!把這顆工業明珠給我摘下來,當彈珠賣!”

  “我就是怕耽誤了先進制程工藝的進程,畢竟我們買不到最先進的DUV光刻機。”

  尹志堯臉上露出一絲愧疚。

  “梁博士,你的意思呢?”

  陸飛把目光投向梁孟松。

  “陸總放心,難度肯定是有的,但我可以保證,32n,今年下半年就能風險性試產。”

  梁孟松話鋒一轉,說出難題。

  芯片代工制造的過程非常復雜,需要多方面的技術和設備支持,就像14n是個關鍵的分界線,28n也是個關鍵的分界線。

  但設備還不是他最擔心的,他最擔心的是中芯被臺積電打倒之后,下一個就輪到邏輯。

  “這種情況我不是沒有考慮。”

  陸飛擺了擺手:“所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產能放在臺積電,就是讓章忠謀顧慮,既想對付我們,又怕失去我們的訂單。”

  “可按我對章忠謀的了解,肯定不會善罷甘休。”梁孟松憂心道,“另外還有三星……”

  陸飛笑道:“梁博士,三星現在的技術負責人還是蔣尚義,哪怕拿到了EUV光刻機,你覺得他有這個能力帶領三星沖擊制程嗎?”

  “沒有!”

  梁孟松想也不想,“沒這個可能!”

  “對嘛,就連40/45n工藝,三星還是靠我們,很難說不會又在一個節點上卡住,難以突破。”陸飛嚴肅說,“這么一比,臺積電才是我們最大的敵人!不管現在,還是將來!”

  “臺積電那邊計劃今年過渡到32n,然后最早在明年轉向28n,我們的進度并不比臺積電慢。”梁孟松自信滿滿。

  “梁博士,假如,我是說假如,假如沒有最先進的代工廠給邏輯造芯片,假如邏輯還造不出比較先進的光刻機,假如……”

  陸飛把前世華為遭到的打壓說了一遍。

  “陸總,這種極限施壓情況下,也不是沒有辦法,可以考慮多重曝光技術。”

  梁孟松沉吟片刻,一一列出優缺點。

  尤其是缺點,雖然經過多重曝光工藝,可以改變光刻機的制程極限,但良品率低。

  而且每次曝光都需要校準,而對準誤差會在多次曝光中積累,進而影響芯片的質量。

  “除了損耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設備,這個投入可能……”

  不等梁孟松往下說,孫紅軍突然打斷。

  陸飛和他相視一笑,光刻機的光刻膠等材料,早就納入備胎計劃。

  “梁博士、尹教授,我們已經投資了博康化學等十幾家公司,研發攻克光刻膠這些重要材料。”孫紅軍笑說,“而且找了德國的明斯特、亞琛工業等多家高校,跟我們國內的科研院校,合力打破霓虹這方面的優勢。”

  “啊?”

  梁孟松和尹志堯面面相覷。

  “這是公司的絕密,注意保密。”

  陸飛鄭重地叮囑,現在需要偷偷摸摸地發育,特別是光刻機,最缺的就是發育時間。

  “陸總,孫總,你們放心!”

  梁孟松信誓旦旦地保證,就算臺積電、三星的光刻機領先邏輯,哪怕制程工藝先突破28n,甚至20n也無妨,他能想辦法從28n,跨越22n、20n,直接到14n。

  把因為光刻機設備和技術封鎖而落后的代差跟時間,統統給追回來!

  “是不是又要跳代?”

  陸飛把眼睛瞇成一條縫。

  梁孟松點頭說:“只要尹總能造出28n光刻機就夠了,別是14n,就是7n,我也能你們給搓出來!把光刻機上的劣勢給扳回來!就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次?”

  “有什么不敢?”

  “拼,只管給我拼!不要給我心疼錢,我最不怕花錢,但最怕你們不花錢。”陸飛睨了眼孫紅軍,“老孫,除了德國,霓虹那邊也盯緊點,特別是佳能、尼康的動靜。”

  “尼康那邊好像認命了,倒是佳能,選擇了另一條道路,研究納米壓印(NIL)。”

  孫紅軍也說不出個所以然。

  陸飛讓他再探再報,跟進佳能的NIL路線,然后冷不丁來一句,“光刻廠有沒有搞頭?”

  “什么?!”

  梁孟松等人一臉震驚。

  光刻廠?

  只聽過光刻機,光刻廠是什么東西?

  “咳咳,我是這么想的,ASML的光刻機,為了賣出去,才要小型化、產品化、量產化,這個難度很大,但如果我們把光刻機不做小,而是當基礎設施來蓋,比如一個足球場大小,是不是可以彌補光源、鏡片這些問題?”

  陸飛看他們一臉茫然,于是換種說法。

  相當于造不出熱水器,就建個鍋爐房,然后接水龍頭,一次性接十幾個,能放出428n、14n、7n這些不同溫度的水。

  “這個提法,我好像在哪里聽過……”

  梁孟松吸了一口氣,思索了片刻,突然靈光一現,“對,水木!水木大學有篇論文!”

  “真有?”

  孫紅軍、尹志堯簡直不敢相信。

  “不過只是一個概念,叫穩態微聚束加速器光源,也叫SSMB。”梁孟松解釋說,“我關注這個,還是因為提出這個概念的教授,是楊振檸先生的弟子,可行性還有待檢驗。”

  “只要有可能,就值得投資。”

  陸飛計劃去趟水木大學,順便把自己存那里一直沒時間取的EMBA碩士證書給領了。

  “陸總,在這之前,我們是不是先去見見章汝京?章總一直在等您從香江回來。”

  孫紅軍提醒了句,年初中芯跟臺積電長達六七年的國際訴訟,達成和解,但作為條件之一,章汝京不得不被迫辭職,離開中芯。

  “E,見,必須見!”

  陸飛叮囑安排兩人見面的行程計劃。

  有個項目,非他這位老帥不可!

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