老人開口道:“各位尊敬的科學家,上午好,大家時間都很寶貴,我也就長話短說,簡單談一談本場會議的目的。”
“近年來,我們一直在往半導體產業鏈進行發展,到了今天也有了一定豐碩的成果,前段時間,在林曉先生的主導下,我們先后在多個技術上都實現了突破,特別是硅晶圓生產技術得到了重大突破,達到了世界一流的程度。”
說到這,他朝林曉點點頭,隨后繼續道:“半導體技術的研究是重中之重,未來我們也需要在這個技術上實現更多的創新。”
“現在,大家可以談談自己的看法,談談你們各方技術有哪些新的突破,討論一下我們接下來應該往哪個方向發展。”
隨著老人的話說完,在場的人便開始議論起來。
半晌后,華芯國際的專家舉起了手,說道:“近期以來,我們在芯片生產工藝上實現了一次關鍵性的突破,距離12nm制程又近了一步,這一方面我們需要更多的研發投入。”
“我認為,我們在生產工藝上還是要加大投入,畢竟造出我們自己的光刻機仍然還遙遙無期,還不如先想辦法怎么將DUV光刻機鉆研到極限。”
這話一說出來,其他人就不愿意了。
比如電科集團、常春光機所、魔都微電子,這三家都是接到了研發光刻機任務的,華芯國際提倡要大力搞生產工藝,他們當然就不愿意了。
于是這三家公司立馬就表示了反對。
“搞不出來就不搞?你也不看看咱們現在因為沒有搞這些東西都損失多少了。”
“你說搞生產工藝,也沒見你們搞定多少啊?人家臺積電別說14nm了,12nm、10nm的工藝都有,不求你們跟上7nm,但好歹也不至于落后這么多代吧?”
雙方說的話都很不客氣,自然而然的,就直接開始吵了起來。
當然,畢竟是這種場合,他們吵起來也都是指責對方在技術發展上的問題。
不過他們吵的時候,又有人表示:“我覺得,我們是不是應該在材料上再下點功夫?”
在場的人還是有不少是生產材料的,聽到有人提到這一點,頓時就紛紛附和起來。
“對,材料上應該也需要著重發展!”
會議室中再一次多出了一個聲音。
這就是半導體產業鏈,每一環都緊密相連,每一環之間都有著較大的技術壁壘。
就在這些人爭論的時候,忽然有人拍了拍手,眾人看去,正是馬局長。
對于這位科技局局長,在座的人們都還是有保持著尊敬的態度的,于是乎也都安靜了下來,等待他說話。
馬高亮則只是笑了笑,然后說道:“大家說的都很有道理,不過大家也知道,咱們想要跟上國外,各個環節也都還相差甚遠,現在咱們也就只是在硅晶圓生產這上面來到了世界一流的地位。”
“所以我想,咱們要不要先聽聽林教授的看法?”
聽到這,在場的專家們都安靜了下來。
不管如何,光憑林曉最近的這個成就,也值得他們認真對待一下。
于是所有人都將目光看向了坐在前面的林曉。
而林曉對于突然輪到自己講話感到有些意外,不過,他早就準備著要分享一下他的想法了,所以他絲毫不著急。
身體坐好,他先朝右手邊的老人微微一笑,然后重新轉頭看向了在場的人們,隨后道:“我的看法,就是兩手都要抓,兩手都要硬。”
“當然,這句話用到整個產業鏈中,就是整條產業鏈,都要抓牢。”
在場的人頓時都是一愣,
林曉的意思是?
他覺得所有的方向都要發展?
在場的人們都不由搖搖頭,他們還以為林曉能說出什么讓人眼前一亮的想法呢,結果現在這么說,在所有人看來明顯就是那種誰都不想得罪,保持中庸的態度。
不過,林曉真的是這個打算嗎?
說完這句話后,他站了起來。
“半導體行業是一個完整的產業鏈,產業鏈中的每一個部分都占據著十分重要的作用,而我們既然有我們特殊的體制,我們可以形成一盤棋來進行,那么,我覺得應該組成一個半導體產業聯盟,集中調配各方資源,來更好地發展我們的整個產業。”
“而現在,我們的硅晶圓生產已經完成了突破,同時,因為編碼器八分結構的出現,我們的精密加工技術也得到了一次突破,而剩下的,就是繼續更加深入的去挖掘。”
“在這里,我首先對光刻機所要用到的光學鏡片生產技術如何實現突破,進行一個簡單的講述。”
說到這,林曉朝羅剛憲微微一笑,羅剛憲卻是一愣,林曉要說他們的光學鏡片?
林曉說道:“如何讓光學鏡片更加精密,無非就是將鏡片表面那些凸起的粒子給弄走。”
“我們能夠利用激光干涉儀,找到這些凸起的粒子,接下來針對這些凸起粒子的凸起量,我們就可以用離子束轟擊這些凸起的粒子,然后將我們的鏡片給‘敲’平。”
“這樣一來,我們的鏡片就能變得無比地平整起來。”
聽到林曉的想法,羅剛憲便忍不住說道:“這……這應該做不到吧?激光干涉儀得到的表面的粗糙度數據,我們只能進行統計,但是還無法具體去判斷要怎么用離子束去轟擊啊!而且,硅原子半徑都經到100多皮米了,直徑等于兩百多皮米,而我們需要的是100皮米以下的級別,如果是離子轟擊,直接把表面原子給轟擊掉了,留下的可能就是一個一百多皮米的坑,這樣還是達不到光刻機鏡片的要求!”
林曉說的確實是一個很好的方法,但這是從理論上來說,他作為專業的,心中完全不相信這一點能夠做到。
林曉只是笑了笑,說道:“我可沒有說要把這些凸起的粒子給轟掉啊,羅院士。”
“我說的是‘敲平’!”
“我們只需要就算好轟擊角,控制住水平和垂直上的分力,我們完全可以實現其表面的平坦化。”
“而且,我們所謂的原子半徑,其實只是原子軌道半徑而已,在受力范圍上,它們可不是一個球,用離子束去轟擊,也只是他們之間的電磁力罷了。”
“以前的離子拋光技術,使用的是氬等離子體,在轟擊的時候,我們考慮其電荷量,就能夠實現了。”
聽到這,羅剛憲頓時感到不可思議,這么說的話,似乎真的可行?
但是經過片刻的思考后,微微搖頭道:“這做不到吧,這在數學上無法實現!你怎么計算出轟擊角?”
林曉卻是一笑:“只是一道數學問題而已,我最不怕的就是數學問題。”
“這……”
羅剛憲話語一滯。
只是一道數學問題?
而已?
他不知道怎么說了,但是看著林曉的樣子,他卻找不到繼續質疑的理由。
似乎,真的可以這么做?
如果他們能夠計算出離子束轟擊角,似乎確實完全有可能將那些粒子給“敲”進去?
其實,這就類似于一種離子拋光技術,只不過相比較那些比較常見的離子拋光技術,他們的這個技術對精細度要求的高了一點點。
而解決這個問題,最重要的可不就是數學問題?
想到這,他看著已經走到了橢圓桌另外一邊的林曉,站起來說道:“林教授,你說服了我,我們合作吧。”
林曉笑了笑,說道:“當然可以,只不過……”
他看了一眼在場的所有人,說道:“各位,我剛才說了,我們要成立一個聯盟,所以,我想和你們所有人一起合作。”
“而你們在技術上遇到的問題,都可以來找我合作研究。”
聽到這,在場的人頓時都瞪大了。
林曉這話,是打算把他們所有人背后所代表的機構企業拉到一起?
他甚至還說,技術上遇到了問題,都可以去找他合作?
雖然林曉解決了CMP材料技術,還有硅晶圓提純技術,甚至還在編碼器精度上實現了重大突破,完全可以稱之為全能性人才。
但是他們在場的那么多行業,林曉如何做到全能?
有人立馬表示了反對:“林教授,你的提議很不錯,但是你知道極紫外光光源問題如何解決嗎?這是我們想問你的第一個問題。”
林曉一笑:“極紫外光光源,用的無非就是準分子激光照射在錫靶材上,退激產生極紫外光,而我們要做的就是提高其功率。”
“這一點,我們只需要控制錫靶材和準分子激光的功率,實現錫靶材能夠更大的接受準分子激光照射率,就能夠實現更強的退激效應。”
“關于如何實現錫靶材更高地接受照射率,這一點需要數學計算和實驗驗證,數學方面的問題,對我來說同樣不是問題,所以你們和我合作之后,我們同樣也有機會實現突破。”
“另外,還有我們對EUV光的采集效率,這一點,只要能夠實現我剛才所說的對鏡片的更精密加工,我們采集效率完全可以再次增大,進而提高功率。”
聽到林曉的回答,那個反對的人又是啞口無言,因為他發現自己居然被林曉說動了。
如果真的能夠和林曉合作的話,他們的問題是不是真的能夠得到解決?
而這時候,又有人提問了:“林教授,光路系統呢?”
林曉再一次笑道:“光路系統,首先是我們的精密控制領域需要突破,而我相信,現在我們已經有這樣的機會了。”
“接下來還是一個數學問題,相信我,只要涉及到了數學問題,都不是問題。”
在場的人都不知道說什么了。
數學問題?
他們的這些問題,除了材料問題、精密加工問題,剩下的可不就是數學問題嗎?
許多人都不知道再去怎么問了。
當然,那些研究材料的人就有話說了:“我們光刻膠呢?”
林曉說道:“CMP拋光材料,我花了兩個月的時間就給解決了,其他的材料雖然我不敢保證,但是說不定我運氣好之下,就也解決了呢?”
“啊這……”
“林教授,還有我們……”
林曉一個個的進行著回答,同時也一個個地將他們說服。
就如同舌戰群儒一般。
成立這樣一個聯盟的想法,他早就有了。
而如今,他在半導體上的成就,讓他有了這樣的榮譽去提起這件事情。
今天這場會議,正好給了他提出這個想法的機會。
就這樣,在場的人在他的話語中,臉上都露出了意動的表情。
似乎都被他說服了。
見到這一幕,林曉宋目光認真地道:“我不是想要搶各位的東西,只是覺得我們有必要建立起這樣的一個聯盟,更好地調動我們資源。”
“朋友們,我們距離國外還有差距,合作是更加應該的。”
“在這里,我不希望和大家爭論。”
“同時,也相信我,我也有這個信心。”
會議室中安靜了片刻。
光電所所長,羅剛憲院士說道:“我同意。”
有了人開頭,原本還搖擺不定的其他人,也紛紛說道:“我們也同意。”
“同意。”
這件事情,對他們也沒有利益上的影響,只是嫌麻煩,不認為加入之后對他們有什么意義。
但現在,林曉已然說服了他們。
而見到這些人居然真的都同意了,馬高亮忍不住看向林曉,目光中多出了佩服。
能夠說服這么多人的,恐怕也只有林曉有這個能力。
而那位一直沒有說話的老人,看著林曉的目光中也多出了許多的欣賞。
而后,他說道:“很好,各位能夠實現合作,我很高興,那么,我就作為一個見證者,為你們的這個聯盟起個名吧。”
聽到老人的話,林曉笑道:“這當然最好了。”
老人笑道:“那就叫華芯盟好了,簡單直接一點。”
“另外,林教授,在之后如果有什么需要,聯系高亮就行,我讓他全力配合你們。”
“好!”
林曉重重點頭。