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第二百四十四章 超紫外激光波長1.5nm功率2000w(2)

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  時間轉眼就到了第二天。

  測試結果非常喜人,昆侖集團的光學系統,包括最重要的物鏡在內,一次就點亮了,并且成功流片。

  但與此同時,這次實驗也發現了不小的問題,中科光電院負責的光源,波長雖然達標,但卻存在功率太低的問題,導致硅片曝光不夠,即便用系統饋贈的光學系統和超級物鏡,也沒辦法挽救。

  “情況怎么樣了?”

  高原跑去睡了一覺,回到實驗室打了個哈欠。

  楚落落小臉煞白,這可憐的孩子,激動加擔心,令她昨晚都沒睡好,而高原就不同了,他不僅舒舒服服睡一覺,還順便進入系統空間學習知識。

  “還在調整光源,他們太拖后腿了,我看實在不行,就用咱們自己的光源吧!”楚落落心思單純,也沒有多想,當即說道。

  高原蹙眉,看著實驗室里,一群穿著白色防塵服的工程師,正在對光源發生器進行調試,整個測試也因此陷入停滯,大家都在等待。

  看來他們的激光功率的確有問題,而且不像一時半刻能夠解決的樣子。

  想到這里,高原走進了項目辦公室。

  由于是聯合項目,各家老總都來了,所以辦公室里人比較多,一個個都顯得很疲憊。

  “杜所長。”高原對長春光機所的杜維明說道:“這次我們帶來了超紫外光源,實在不行,就先測試超紫外激光吧,光電所的深紫外放在后面測。”

  高原帶了光源,這件事他早就通報過的,在場的人都很清楚。

  只是大家心里都有點疑惑,超紫外光源是個什么東西?以前沒聽說過啊!

  光電所做的光源叫紫外,或者說深紫外激光,波長193nm,是目前全球應用最廣泛的存在,從微米級芯片,一直到14nm芯片,都可以使用這種光源。

  半導體代工巨頭臺積電,甚至用深紫外激光拿下了7nm工藝,令全球為之震撼,徹底打響了自己半導體領域第一天王山的名號。

  所以中科光電所測試深紫外光源,高原一點意見都沒有,這種光源雖然做不出頂級工藝,但勝在便宜啊,性價比高,并不是說高原拿出超紫外光源后,深紫外光源就不需要了。

  合格的光刻機臺,應該同時兼容好幾種光源,好幾種工藝,所以高原讓中科光電所先測試深紫外光,打算等他們弄好了,再測試自己的超紫外。

  誰知道光電所一整天下來,毫無進展,這讓高原有點按捺不住了,提出讓光電所的工程師休息一下,人有時候就是這樣,越忙越忙,弄不好大家睡一覺,洗個熱水澡,茅塞頓開,困難就解決了。

  杜維明蹙眉道:“把光源發生器拆下來,再換上你們的,恐怕要大半天時間呢,要不再等等吧,光源又不是電燈泡,換來換去的很麻煩,而且每次拆裝,精度還要再次校準。”

  杜維明說的也是實話,光刻機又不是縫紉機,不能整天拆來拆去的,稍微一動,精度就要重新校準,很麻煩的。

  高原來的時候,光電所的深紫外光源,就已經裝在測試機臺上了,否則高原一定會要求先測試自己的光源。

  然而,這番對話讓光電院的龔欣迎院長,臉色一陣紅一陣白,有點坐不住了。

  都是做科研的,龔院長雖然一向對昆侖集團敬佩有加,但這也太傷人了吧!

  好像純粹是因為太麻煩,才勉強讓自己的光源留在機臺上,要是拆裝容易的話,早就把自己的光源拆下來扔了!

  你們行?

  那你們就上吧!

  超紫外激光?

  開什么玩笑呢!

  難道還能比荷蘭asml的極紫外更強!?

  要知道,asml已經把波長干到了13.5nm,而傳統深紫外光是193nm,兩種光源之間,有著本質的差別!

  我就不信了!

  你們昆侖集團的這個什么超紫外光,也能做到13.5nm?

  恐怕就是個名字而已吧!

  昆侖集團向來熱衷宣傳,給自己的產品和技術,起一些匪夷所思的古怪名字。

  明明是固態電池,卻叫昆侖晶石。

  明明是復合碳纖維,卻叫昆侖暗星。

  最離譜就是機械外骨骼,居然叫原子螞蟻?

  你們以為自己是誰?

  漫威里的超級英雄蟻人嗎?

  龔院長陰沉著臉,一瞬間諸多想法涌入大腦。

  倒不是說針對高原,做科研的誰還沒有點怪脾氣?自己這邊實驗還沒做完呢,高原就急著把自己替下來,實在很讓他沒有面子。

  “杜所長,既然高老板有更先進的光源,那就把我們的撤下來,換他們上吧。”龔院長皺眉,沉聲說道。

  “不急不急,兩種光源都要測,還是先搞完你們的吧。”杜維明看龔院長臉色不好,于是急忙打圓場道。

  “沒關系,咱們搞科研的,向來是誰有本事誰上,我這就讓人動手,把光源拆下去。”

  龔院長不由分說,從辦公室離開,吩咐手下拆激光發生器。

  這些光電院的工程師們一陣驚愕,還沒測試完呢,怎么就拆了呢?

  聽說是給昆侖集團讓路,工程師們頓時沒了脾氣,誰讓人家本事大,光學系統做的漂亮呢,那套物鏡的精度,據說在一納米之下,簡直堪稱完美。

  盡管如此,光電院的工程師們心里還是有點不服氣,畢竟光學做得好,不代表激光也能搞定。

  當時間來到晚上,深紫外激光發射器已經被拆掉了,換成了高原帶來的超紫外激光發射器,工程師們好不辛苦,用了整整一個白天,才完成光源的更換和校準。

  辛苦一點倒是沒什么,就盼望著能有好結果吧。

  超紫外?

  名字倒是夠拉風,就是不知道波長多少,功率又是多少?

  荷蘭asml已經把這兩個最關鍵的參數,做到了世所罕見的程度,才13.5nm的波長,功率更是達到了250w,用來曝光硅晶圓,效率簡直不要太夸張。

  要是昆侖集團能用荷蘭asml一半的水準,就謝天謝地嘍。

  隨著一道激光爆射而出,機臺再次點亮,過程非常順利。

  片刻后,身穿白色防塵服的工程師,顫顫巍巍的雙手捧起十二寸硅晶圓,放在燈光下端詳。

  無數玄奧繁雜的線條,宛如世界上最美妙的藝術品,令人心馳神往。

  “又是一次點亮!?”

  “這運氣也太好了吧!”

  “波長多少?功率又是多少?”

  “不清楚,具體參數在控制室里,不過我看晶圓曝光的程度,似乎遠遠好于之前。”

  圍觀眾人議論紛紛,與此同時,從控制室里傳來一陣喧囂,仿佛有野獸鉆進了控制室,搞的里面一片雞飛狗跳。

  “什么情況!?”

  “他們似乎很高興的樣子?”

  “或許參數比較不錯,所以他們才比較激動吧。”

  外面的眾人不明所以,紛紛用好奇的眼神看向控制室。

  片刻后,帶著眼鏡的工程師推門走出,他將一張寫著參數的表格高高舉起,宛如舉起勝利的獎杯。

  “波長1.5nm!”

  “功率整整2000w!”眼鏡工程師雙目通紅,聲嘶力竭吼道:“昆侖集團!牛逼!!!”

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