屏幕上,擺在他們面前的是碳基芯片的第一道工藝——碳納米管提純。
這是一道新的工藝。
碳納米管的提純這可不是一個容易的事情。
碳納米管相當于把石墨烯卷成筒狀,根據對齊的方式不同,碳納米管就會表現出不同的特性,有些是金屬性質的,有些是半導體性質的。
而芯片制造要的就是半導體性質的。
之前他們提純的半導體碳納米管純度是99.99995,俗稱六個9純度。
雖然這個純度已經足夠碳納米管在集成電路上的使用,但是想要大規模量產應用的話,這個純度還需要往上再提高兩到三個數量級才能保險。
而從屏幕上的新工藝描述來看,這種新工藝能達到的純度是99.9999999!
九個9!
而且眾人越看,就越是覺得這種制備提純的工藝跟他們現在使用的多次聚合物分散提純工藝相似過頭,甚至就連方法步驟都很相似。
都是對碳納米管使用某種特殊的分散劑,隨后反復三次進行分散、提純、抽濾、清洗的步驟……
可以說除了這道工藝里面使用了另外一種更為關鍵的特殊分散劑,其他的部分不說九成,至少也有八成與他們目前研發出來的工藝相似。
“這……我怎么感覺這種工藝跟我們的差不多?方案上面描述的那種分散劑真的有那么神奇嗎?”
“不知道啊,這上面沒有分散劑的具體信息,不過據我所知目前應該沒有一種分散劑可以達到這種效果的吧?”
“可能是一種新的分散劑?”
會議室里面的眾位研究員已經忍不住在底下私語。
這倒不是抄襲,工藝程序這種東西是不會有專利的,不可能說他們這么干了,其他人就不能再走這個思路。
只能說上面的工藝是在他們的工藝基礎上針對分散劑、聚合物選擇、多次提純工藝和聚合物分離方面進行了許多改進,而且改進的效果還很明顯,純度后面多出的那三個9就是明證。
前面的劉院士也有聽到眾人的話,不過他只是氣定神閑地說了一句:“先繼續看吧,等到放完了,我會給大家答疑。”
眾人只好按下心里的疑惑,繼續往下面看。
接下來是碳納米管的排列組合,從這里開始,陳神便使用了DNA作為工具。
這個方向與另一位圓明園職院教授的研究方向相近,跟劉院士團隊的研究方向有所差別。
不過在場的眾人都能夠一眼看出來,屏幕上的工藝跟上一道工藝一樣,都是進行了改良。
不過具體改良了什么步驟,改了多少,他們就看不出來了,畢竟這不是他們的研究成果,肯定沒有那么熟悉。
但是從效果的描述上面來看,顯然是遠超于原版效果的。
因為屏幕上面的工藝從碳納米管的排列開始,一直延續到使用DNA模板工具在金屬膜上刻蝕出納米圖形!
這種工藝的完整度完全超出眾人的想象。
當看到這里的時候會議室里直接炸開了鍋,大家都忍不住低聲議論。
這種工藝簡直讓人瘋狂!
如果這種工藝真的能夠實現的話,毫無疑問碳基芯片的工業量產就在明天。
只要有了可以實現的工藝,無論量產有多大難度,國內的工程師們都會出盡所有的力氣解決!
而且這實現的還是14納米制程的碳基芯片!
他們現在連90納米制程都還沒有搞出來呢……
恍惚間,眾人都不禁有了一種時空錯亂的感覺。
劉院士依然還是那副氣定神閑的樣子,或者說他早就已經從驚訝中冷靜下來了。
“都靜一靜,我們繼續往下看。”
接下來的工藝相對來說比較簡單,因為從這一步開始,碳基芯片就進入到了刻蝕步驟。
從這里開始,往后一直到封裝的工藝,與硅基芯片的工藝重合度很高。
基本都是14納米硅基芯片的工藝,只不過進行了一些適應性的改造,雖然有所改變,但是不大。
眾人看完,感覺就像是三伏天在空調房里吃冰棍一樣,有一種暢快淋漓的感覺。
他們回想起剛剛屏幕上的內容,工藝可以說已經十分完整了。
“不過還是有一些地方缺少了,比如新晶圓的制作上面就沒有。”
謝雨跟眼鏡師兄發表自己的看法。
碳基芯片生產所需要的晶圓自然不可能跟硅基芯片的完全一樣,也是要經過一定的改良的。
這時候前面的劉院士站了起來,他拍了拍手,把還在討論的眾人吸引過來。
“大概的資料大家已經看完了,大家有什么問題現在就問吧。”
謝雨第一個舉起了手。
“說吧。”劉院士馬上點了她的名。
她站起來,“這個工藝是哪一所研究院的成果,怎么會領先我們這么多?這也太奇怪了吧?”
對啊,怎么會領先我們這么多?
謝雨問的問題,也是其他人想問的問題。
據他們所知,他們應該是國內研究碳基芯片走在最前面的隊伍了,就連他們都還在研究90納米碳基芯片工藝,這14納米的碳基芯片工藝又是哪里來的?
這感覺就是孫悟空不用石頭,直接就從空氣里面蹦出來了,而且蹦出來的還是成佛之后的孫悟空。
他們倒是沒有想過這份資料是假的。
因為這份資料是劉院士拿出來的,他們研究所的院長!
說他是國內碳基芯片領域的第一人都不為過。
這樣的人物怎么可能會被一份自己擅長領域內的假資料騙到?
而且他們也親眼看了這份資料,雖然有一些地方語焉不詳,但是那明顯是保密需要,并不是說不清楚。
劉院士呵呵笑了一下,回想起來也覺得有些夢幻,“這份資料啊……”
“說起來還跟在座的一些人有關系。”
“哈?”
眾人一下子懵了,你看看我,我看看你。
難道是我們中出了一個大神?
一個人就把碳基芯片的工藝推進到了這個地步?
劉院士繼續道:“前幾周我讓你們中的幾個人整理了一份有關于碳基芯片的學習資料和實驗數據,你們還記得吧?”
“記得。”謝雨說道,當時這份任務交給了她,她當然對這種基礎任務印象深刻。
“那份資料是要交給一個人的……”劉院士悠悠道。
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