第一百零三章 顧律的眉頭輕輕皺起。
據他所知,這種米國新型的Buehler Phoenix Bets型拋光機,拋光精度,應該能達到0.1納米左右。
而據黃師傅所說,他們通過這臺設備,拋光后得到的硅晶片,精度最高的一次才為1.06納米。
兩者差了十倍。
這個數據不對,很不對!
一定是哪個環節出了問題。
硅晶片,準確的來說是屬于材料學領域。
但各學科之間是相互關聯的。
顧律在鉆研物理學中的半導體物理的時候,不僅研究了硅晶片中原子狀態和電子狀態以及各器件內部電子過程,還對硅晶片的整個制作流程,查閱了相當多的專業書籍和文獻。
否則,他也不會在郭院士面前,大包大攬的承接下此事。
只不過,面前的情況,確實讓顧律有些想不通。
要么,就是設備本身有問題,海躍公司從米國進口來的這批設備是假貨!
但這幾率不大。
要么,就是在操作過程中,在哪個環節出了紕漏。
顧律曾在一本書中,看到過Buehler Phoenix Bets型拋光機的結構圖紙。
顧律把眼前的設備和記憶中圖紙上所描述的結構對比了一下,發現完全是吻合的。
那應該就不是買到假貨了。
顧律起身,拍拍手上的塵土,對黃師傅笑著開口,“黃師傅,實際上機操作一下吧,我看一下效果。”
黃師傅點點頭,幾分鐘后拿著一塊未經過拋光處理硅晶片回來。
跟著黃師傅回來的,還有幾位穿著工作服的年輕員工。
好奇的目光,打量著張經理身旁身姿挺拔的顧律。
“黃師傅,開始吧。”在幾人的注視下,顧律泰然自若,目光望向黃師傅。
拋光機的操作很簡單。
插上電源,將硅晶片擺放在相應的夾具上,最后加入拋光液。
按下紅色按鈕,啟動機器。
拋光機開始工作起來。
顧律就圍著這臺拋光機,全方位的觀察。
周圍的眾人全部屏住呼吸,靜靜的等待著。
于是乎,這片區域內,除了機器轉動的聲音外,只剩下顧律在地面上踱步的聲音。
時間在一點點流逝。
這種新型的拋光機,拋光時間是三十分鐘。
“不應該啊!”顧律摸著下巴,喃喃一聲。
眼前發生的事情,確實觸及到他的知識盲區了。
黃師傅放置的硅晶片位置,雖然在一定程度上,導致在拋光過程中切削深度的增加,但也不至于,精度會比預計的數值增加十倍。
機器的工作過程,顧律全程看下來了,也并沒有發現什么異常。
按理說,十倍的精度差,不可能出現才對。
難道今天要翻車了?
在拋光時間快要結束的時候,顧律目光瞥了一眼黃師傅背后,接著視線緊緊鎖住那個藍色的塑料液體瓶。
對了,拋光液!
顧律腦中靈光一閃,瞬間明白問題的關鍵所在。
在拋光過程中,除了拋光機以及被拋光的物件,用來進行輔助拋光作用的拋光液,也能極大的影響被拋光物件的精度。
往往,不同型號的拋光機,不同被拋光的物件,最適宜使用的拋光液是不同的。
“你們用的是哪種拋光液?”顧律沉聲問道。
“呃……”黃師傅愣了一下,隨口回答,“我們現在使用的納米三氧化二鋁粉末拋光液。”
林經理一臉緊張的看向顧律,“顧先生,有什么問題嗎?”
有問題,問題大了!
納米三氧化二鋁粉末當做磨料,加入Buehler Phoenix Bets型拋光機,進行單硅晶片的精密拋光,本身就是極為不智的一種舉動。
因為三氧化二鋁這個東西,實在是太硬了啊!
即便是納米級別的三氧化二鋁粉末,硬度也不會減少。在拋光過程中,肯定會對硅晶片造成損傷。
另一方面,根據Preston公式,MRR=ρwNV。
拋光磨料硬度越高,對應的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。
他想,他已經知道,為什么使用新設備拋光后的硅晶片,在精度方面一直達不到要求了。
“拋光液用錯了。”顧律眼神的平淡的看了張經理一眼,開口說道。
“難道不是用三氧化二鋁粉末拋光液嗎,我之前在國營大廠里,一直都是用的這個。”說話的是黃師傅。
顧律笑著開口解釋,“對于那些精度不高的硅晶片,使用納米三氧化二鋁粉末當然沒問題,因為制備簡單,成本還低,但對于高精度拋光機,這種高硬度的拋光磨料,就明顯不適用了。”
“那顧先生,我們應該用哪種,當做納米磨料?”張經理問。
“二氧化鈰。”顧律請吐出四個字。
“二氧化鈰?”張經理眉頭皺起。
“你們這沒有這種拋光液?”顧律問。
“呃……沒有。”林經理老老實實的回答。
老實說,這種拋光液,在國內都不常見。
“那你們這瓶三氧化二鋁拋光液,是從外面買過來的,還是自己制備的?”顧律接著問。
林經理開口,“我們自己做的,我們有一條專門的生產線。”
他們海躍公司,除了售賣一些半導體材料外,拋光液也是他們的產品之一,不過貨量不大。
除了自產自銷的一些外,沒多少流入市場上。
顧律倒是不意外。
拋光液這東西生產起來不復雜,搭建一條生產線很簡單。
“帶我過去看看吧,我試試能不能制作出來二氧化鈰拋光液。”顧律看向張經理,緩緩開口。
張經理愣了一下,“您……親自制作?”
顧律聳聳肩,輕松的語氣,“沒必要那么大驚小乍,這東西沒什么技術含量,只要材料有,稍微有點化學常識的人都會弄。”
“走吧,帶我去看看。”顧律挑挑眉。
“那這邊……”林經理指著快要結束拋光過程的設備,猶豫的開口。
“不用再繼續看了,反正結果肯定和你們之前得到的一樣。沒必要浪費時間。”
“好吧,那顧先生,這邊請。”
拋光液生產線放在了工廠那棟五層小樓的頂樓。
走進房間,可以看到兩名員工在里面忙碌的工作著。
顧律來到實驗臺,看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜訪的那一堆化學試劑,然后掃了一眼整個房間內的大致設備,淡淡笑了笑。
“運氣還不錯,制備二氧化鈰的材料和設備基本都有,接下來,交給我就好了。”
………………