段云同樣需要突破的還有光刻機技術,而這其中。
頂級的光源,高精度的鏡頭和精密儀器制作技術是EUV光刻機三大核心技術,阿斯麥的光源來自收購的子公司Cymer;鏡頭來自深度綁定的蔡司;精密儀器則自身擁有多年的經驗和專利積累。
其實從后世的芯片產業發展來看,國產光刻機在光源方面,以及光刻機對準臺方面,都已經得到了重大突破,達到了國際先進水平,中國的極紫外光也是相當厲害的,所以光源和工作臺并不是制約國產光刻機的最主要因素。
而真正制約國產光刻機發展的是光刻機的鏡頭鏡片,阿斯麥能夠成為光刻機領域的老大,其最核心的技術就是來自于蔡司的光學鏡片。
德國蔡司是一家老牌光學廠商,早在1890年就開始生產相機鏡頭,這家公司在行業的影響力不僅僅是賣相機鏡頭,蔡司還從事高端光刻機高精度鏡頭制造,荷蘭阿斯麥公司制造的光刻機基本上都是采用蔡司鏡頭。
早年的時候日本尼康佳能憑借很好的光學技術底子,也能生產出技術先進的光刻機,然而進入90年代之后,隨著芯片制程技術的不斷提高,尼康佳能都曾經嘗試去做更高的光刻機鏡頭,但結果都失敗了,只能放棄,在這個地球上,高精度的放大鏡只有德國蔡司鏡頭可以生產。
光刻機對鏡頭的要求有多高,從他的技術構造上就可以看出來。
位于光刻機中心的鏡頭,有20多塊鍋底大的鏡片串聯組成,鏡片必須是高純度透光材料加高質量拋光,而這種鏡面材質要做到均勻,至少需要幾十年到上百年的技術積累。
同一個鏡片,不同工人去打磨,光潔度相差10倍。
德國蔡司公司里拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一職位。
如果把阿斯麥光刻機的光學鏡片表面比作一個德國領土的話,那么這上面的建筑物誤差不能高于兩厘米,由此可見,這種光學鏡片的精度達到了令人匪夷所思的程度。
現在蔡司是被阿斯麥公司控股,段云想從蔡司公司獲得高精度光刻機鏡片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持國產光學鏡片的研發工作。
段云通過了解,得知這次入駐深圳科技園的國內光學企業共有三家,兩家來自于北京,一家來自于上海。
這些光學研究所最早都是研究眼睛鏡片的,無論從企業底蘊還是技術實力上來說,和蔡司,尼康,佳能等國際大廠差距非常大,有很多的技術瓶頸需要突破。
但好在80年代。光刻機的技術遠沒有后世2000年以后極紫外光刻機那么復雜,段云如果能夠長期對這些企業保持資金投入的話,是有機會追趕這些國際大廠的。
而一旦光刻機的光學鏡片得到突破,那么國產光刻機制造就已經突破了最大的技術瓶頸了,先進光刻機國產化將變成一個現實。
隨著操作臺一串燈光閃過,NAND閃學芯片正式進入試生產階段,在場的所有人都屏住了呼吸,段云的臉色也顯得非常凝重。
兩年來,段云一直在等待著這一天到來,如果NAND芯片試生產成功,對他和整個國家芯片產業而言,都是歷史性的一天,中國的芯片產業也將翻開新的篇章。
光刻機中傳來嘶嘶的聲響,只用了三分鐘時間,第1片圓晶片就加工完成,通過傳送帶進入后續程序,成品一旦測試成功,就意味著整個世界上第1片NAND芯片在中國誕生。
而此時的黃令儀已經有些抑制不住內心的激動,身子開始微微的顫抖起來。
當20片圓晶片全部加工完成之后,段云等人離開了C區,來到了位于a區的檢測室。
“出來了,出來了!”眼見檢測儀器的屏幕上出現了芯片的測試結果,蔣明煒激動的喊了起來。
“成品合格率是84,所有芯片跑線情況良好,沒有出現任何問題。”此時負責芯片檢測的工作人員將一份檢驗報告遞到了段云面前,語氣興奮的說道。
“啪啪啪!”現場頓時響起了掌聲,盡管眾人手上還戴著防塵手套,可是掌聲依然顯得非常熱烈。
“太好了!”
“恭喜恭喜!”
周圍的幾人到了這一刻,臉上終于露出了笑容,紛紛相互恭喜道賀,黃令儀更是主動和在場的幾人擁抱在了一起。
“我現在正式宣布,由咱們天音集團研發的NAND閃存芯片試生產成功!”此時段云的聲音帶著幾分高亢,只聽他接著說道:“今天的成功,離不開大家的努力,對于咱們天音集團乃至中國芯片產業來說,這都是值得紀念的歷史性的一天,在這里我向所有參與芯片研發工作的人員表示深深的感謝!”
段云說到這里的時候,對著眾人鞠了一躬。
這一刻段云的內心無比激動,壓在心頭許久的一塊巨石,也終于放了下來。
可以說重生來到這個世界到現在,這塊芯片的誕生,是他做出的最大的成就,而之前研發出來的那些產品,充其量只是幫他賺了很多的錢,遠沒有這塊芯片帶來的價值巨大。
“段經理,應該說感謝的是我們,沒有您的話,我們不可能做出今年的成績。”此時黃令儀神情激動的對段云說道。
“是啊,我是真沒想到咱們天音集團會這么強大,能做出這么好的集成電路,一個私營企業做到了國家都做不到的事情,我也算是開了眼界了。”蔣明煒這個時候也跟著說道。
蔣明煒當初加盟天音集團有賺錢的考慮是不假,可他也確實想做出一番事業來,為國家的集成電路產業促貢獻,這也一直都是他的心愿。
如果說他當初還質疑段云的能力和天音集團的實力的話,那么現在這種質疑徹底煙消云散,在他看來,天音集團確實是個充滿奇跡的企業,相比于國家的科研單位,實力更是有過之而無不及……